基于激光超声技术的硅基内部微结构成型的控制方法
预算价格：16000
- 技术领域：微纳米、微机电、半导
- 专利类型：发明专利
- 交易类型：转让
专利 · 详情
Patent details
| 专利状态 | 申请号 | 申请日 |
| 已下证 | 201810485537X | 2018年 |
| 专利状态 | 申请号 | 申请日 |
| 已下证 | 201810485537X | 2018年 |
