一种超薄晶圆加工装置
预算价格:18000
  • 技术领域:芯片、晶圆、半导体
  • 专利类型:发明专利
  • 交易类型:转让
专利 · 详情
Patent details
专利状态申请号申请日
已下证20201130114422020年