拟投入资金	时间期限
10万

要求能通过控制进行任意定点清洗，还能避免油脂对多晶硅钟罩内腔的污染，稳定多晶硅的产品质量，克服在酸性、碱性、水雾及爆炸性危险环境下仪表选型难的问题，消除了仪表电火花诱发的氢气爆炸问题，保证设备使用安全，同时降低设备制造成本