由于日本、韩国的OLED行业整体起步较早,日本的金属掩膜板厂商DNP及日本TOPPAN已基本能制作300PPI的G4.5F\G5.5H用的FINE MASK,现正在研发350-400PPI的G4.5F\G5.5H\G6Q的FINE MASK产品。韩国的的金属掩膜板厂商SEWOO、POONGWON公司已基本能制作G4.5F\G5.5H\G6Q、G8.5H的OPEN MASK,现正在现正在研发G8.5F的OPEN MASK与300PPI的G4.5F\G5.5H\G6Q的FINE MASK产品。由于国内能制作量产的金属掩膜板种类较少,故金属掩膜板产品大部分需进口,而且在进口OLED金属掩膜板过程中,国内OLED面板厂商遭遇了严重的渠道封锁和市场歧视。日本DNP和日本TOPPAN为了防止技术泄密,并不向国内出口其高端产品。而且产能首先保证三星和LG的需求,故我们国内的面板厂商非常被动,举步维艰,严重制约着OLED面板在国内的量产。
需解决的主要技术问题:对现阶段量产用的大尺寸金属掩膜板,无论是结构的设计、及制作后张紧的过程,还是开口加工的精度保证。均还存在设计方案的改良、工艺的调整、设备的更新等问题:1、对金属掩膜板的精度要求;2、金属掩膜板技术张紧工艺;3、金属掩膜板内的结构设计;
拟实现的主要技术目标: 开口精度≤+/-3um、位置精度≤+/-3um、最小孔径≤35um、最小孔距≤50um、孔的倾斜角50°+/- 3°、平面度≤30um、像素>300PPI。