(1) 1989-09 至 1995-06, 西安交通大学电子与信息工程学院, 电子工程专业，获得博士学位；

(2) 1985-09 至 1989-06, 复旦大学电子工程系, 微电子专业，获得学士学位。

博士后工作经历：

(1) 1997-07 至 2000-07, 美国University of California at Los Angeles，主要从事Si/Ge 和III-V 族量子点超晶格的制备及物理问题、微波功率AlGaN/GaN HEMTs等方面的研究

(2) 1995-07 至 1997-07, 中国科学院半导体研究所，主要从事III-V族量子阱红外探测器及其相关物理问题的研究

北京大学任教工作经历：

(1) 2021-11 至 今，北京大学，集成电路学院，教授

(2) 2005-08 至 2021-10，北京大学，微纳电子学系，教授

(3) 2000-08 至 2005-07，北京大学，微纳电子学系，副教授

在北京大学工作期间，主持主讲本科生专业必修课“集成电路制造技术”，主持主讲本科生选修课“科技交流与写作”，主持主讲本部集成电路学院和深研院信息工程学院博士生必修课“科学研究方法与实践”；主要从事微纳机电器件与系统（MEMS/NEMS），以及宽禁带半导体器件及集成电路等方面的研究。

先后主持和参加了国家自然科学基金项目、国家重点研发计划重点专项项目、国家重大基础研究发展计划（973 计划）项目之课题、国家高技术研究发展计划（863 计划）专题课题、教育部博士点基金项目以及国家安全重大基础研究项目之专题、国家级“173计划”项目之课题、国家“核高基”重大专项课题之专题、国家级核心产品研发项目、国家级预先研究项目、国家级预研基金项目、国家级基础科研项目、国家级重点实验室基金项目等。

以第一作者、通讯作者和其他合作作者在国内外学术期刊和学术会议上发表研究论文240余篇，以第一发明人和合作发明人申请中国发明专利、软件著作权约45项（已获授权31项）。曾为《中国科学：E/F辑》期刊编委，现为Sensors and Actuators A: Physical期刊编委。是2019年度国家科学技术进步一等奖获奖成员。