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一种光学邻近效应修正方法
预算价格:
16000
技术领域:
半导体
专利类型:
发明专利
交易类型:
转让
专利 ·
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Patent details
专利状态
申请号
申请日
已下证
2019107971269
2019年
专利经纪人
于福
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